HPQD/MPQD - ハイパワー クイック着脱RFコネクタ
HPQD/MPQDは、ハイパワー用途に最適なクイック着脱構造のRFコネクタです。スパッタリング装置やエッチング装置などマイクロ波プラズマを利用するプラズマ装置等において、ハイパワー同軸コネクタのスタンダードとなっています。
カチっという確かな感触とともにクイック着脱が可能で、トルク管理不要、工具フリーの構造のため、作業性を大幅に向上できます。またねじ嵌合ではないため、コネクタ着脱時における異物発生、汚染を最小限にするため、クリーンルームにおいても安心してご使用いただけます。
ケーブルプラグ、レセプタクル、アダプタ、ケーブルアセンブリをラインアップしており、ハイパワー同軸ケーブルのSFT シリーズに適合します。
HPQD/MPQDは、半導体製造装置向けで広く浸透している同等品と相互嵌合、置き換えが可能です。
HPQD
- 使用周波数:DC~1.0GHz
- 確実な嵌合力
ケーブル対コネクタ保持力:≥ 1,000 N (typ.)
嵌合力:≤ 70 N
離脱力:≥ 10 N
MPQD
- 使用周波数:DC~1.0GHz
- 確実な嵌合力
ケーブル対コネクタ保持力:≥ 1,000 N (typ.)
嵌合力:≤ 35 N
離脱力:≥ 10 N